真空常用數據及單位換算

真空區域

壓強范圍

托(Torr)

帕(Pa)

低真空

760~10

101325～1333

中真空

10~10-3

1333～1.33×10-1

高真空

10-3~10-8

1.33×10-1～10-6

超高真空

10-8~10-12

10-6～10-10

極高真空

＜10-12

＜10-10

Pa·l/s

mbar·l/s

Torr·l/s

atm·cm3/s

sccm

1Pa·l/s

1

10

7.5

9.87

59.2

1 mbar·l/s

0.1

1

0.75

0.987

5.92

1 Torr·l/s

0.133

1.33

1

1.32

78.9

1 atm·cm3/s

0.101

1.01

0.76

1

60

1 sccm

1.69×10-3

1.69×10-2

1.27×10-2

1.67×10-2

1

單位

立方米/秒
(m3/s)

升/秒(L/s)

立方米/小時

立方英尺/分

1立方米/秒(1m3/s)

1

1000

3600

2118.88

1升/秒(1L/s)

10-3

1

3.6

2.119

1立方米/小時(1m3/h)

2.78×10-4

0.278

1

0.59

1立方英尺/分(1cft/min)

4.72×10-4

0.47

1.69

1

帕
Pa

托
Torr

微米汞柱
μmHg

微巴
μbar

毫巴
mbar

大氣壓
atm

工程大氣壓
am

英寸汞柱
inHg

磅/英寸2
lb/in2

1 Pa

1

7.5
×10-3

7.5

10

10-2

9.86923
×10-6

1.0197
×105

2.953
×10-4

1.450
×10-4

1 Torr

133.32

1

103

1333.2

1.3332

1.31579
×10-3

1.3595
×10-3

3.937
×10-2

1.934
×10-2

1 μmHg

0.13332

10-3

1

1.3332

1.3332
×10-3

1.31579
×10-6

1.3595
×10-6

3.937
×10-5

1.934
×10-5

1 μbar

10-1

7.5
×10-4

7.5
×10-1

1

10-3

9.86923
×10-7

1.0197
×10-6

2.953
×10-5

1.450
×10-5

1 mbar

102

7.5
×10-1

7.5
×102

103

1

9.86923
×10-4

1.0197
×10-3

2.953
×10-2

1.450
×10-2

1 atm

101325

760

760×103

1013.25
×103

1013.25

1

1.0333

29.921

14.696

1 am

98066.3

735.56

735.56
×103

980663

980663
×10-3

0.967839

1

28.959

14.223

1 inHg

3386

25.4

25.4×103

3.386×104

33.86

3.342
×10-2

3.453
×10-2

1

4.912
×10-1

1 lb/in2

6895

51.715

51.715
×103

6.895×104

68.95

6.805
×10-2

7.031
×10-2

2.086

1

P(托)

1

10-3

10-4

10-5

10-6

10-9

λ(厘米)

4.72×10-3

4.72

47.2

472

4720

4.72×106

P(托)

1

10-3

10-4

10-5

10-6

10-9

n0(個/厘米3)

4×1016

4×1013

4×1012

4×1011

4×1010

4×107

橡膠種類

天然橡膠

丁基橡膠

丁腈橡膠

氟橡膠

特性1

耐水性，耐酸性，耐堿性良好

滲透率小

耐油良好

23型耐強酸

特性2

出氣量較大

升華嚴重

彈性較好

26型滲透率低出氣率小

真空范圍

1×10－5托

10－7托

10－8托

10-8托

溫度

－30~80℃

－30~150℃

－30~120℃

-20~200℃

真空泵

工作范圍(托)

真空泵

工作范圍(托)

旋片真空泵

760~5×10-4

往復真空泵

760~10-2

滑閥真空泵

760~5×10-3

吸附泵

760~10-4

油增壓泵

10-1~10-4

濺射離子泵

10-4~10-10

羅茨真空泵

10-1~10-4

鈦升華泵

10-3~10-10

油擴散泵

10-3~5×10-7

分子泵

10-3~10-10

水環真空泵

760~25

低溫泵

10-3~10-10