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磁控濺射制備二氧化釩薄膜的參考文獻匯總磁控濺射制備二氧化釩薄膜的參考文獻匯總 磁控濺射制備VO2薄膜可以采用兩種方式：采用濺射二氧化釩VO2靶材，采用濺射金屬釩V靶材兩種方式。 兩種方式濺射的工藝參數也有所不同，具體可以參考如下摘抄的文獻: 一、采用濺射VO2靶材，直接制備VO2薄膜文獻匯總 1.1 磁控濺射法制備二氧化釩薄膜及其性能表征 文獻鏈接：https://wenku.baidu.com/view/93dc600f3c1ec5da51e2702a.html ; 1.2 磁控濺射氧化釩薄膜的相組成及性能 文獻鏈接：https://wenku.baidu.com/view/e23e05ebf8c75fbfc77db22d.html 1.3 磁控濺射制備A相二氧化釩薄膜的方法與流程 文獻鏈接：http://www.xjishu.com/zhuanli/24/201610744315.html 1.4 氧化釩薄膜的制備及其熱致變色特性研究 文獻鏈接：https://xueshu.baidu.com/usercenter/paper/show?paperid=aaab421212af99f36edcc21d81ab6a5d&site=xueshu_se 二、采用濺射金屬V靶材，直接制備VO2薄膜文獻匯總 2.1射頻磁控濺射制備氧化釩薄膜的研究 文獻鏈接：https://wenku.baidu.com/view/ffe668cb04a1b0717fd5dd3a.html 2.2一種磁控濺射制備氧化釩膜的方法 文獻鏈接：http://cprs.patentstar.com.cn/Search/Detail?ANE=9EGD6DDA9HGF9EEC9GHF9FIE9DEC9HAG9EGH9FHE9CAA9EHE 蒂姆（北京）新材料科技有限公司 主營產品：釩靶材、二氧化釩靶材、五氧化二釩粉末、釩顆粒、釩棒、錳靶材、鎳靶材、鈷靶材 官網：www.iifmezy.buzz 電話：010-56073481 郵箱：info@dmmaterial.cn QQ：2031869415 下一篇： 國產鍍膜設備到底還差多遠
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